SEM用于觀察標本的表面結構，其工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品，在樣品表面激發出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關，也就是說與樣 品的表面結構有關，次級電子由探測體收集，并在那里被閃爍器轉變為光信號，再經光電倍增管和放大器轉變為電信號來控制熒光屏上電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標本的表面結構。
中科檢測開展SEM能譜檢測服務，可為高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物等產品提供專業的SEM能譜檢測、定性分析、半定量分析、元素分析等服務。

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析；
2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態成分的鑒定；
3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測；
4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領域；
5、進行材料表面微區成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。

SEM能譜檢測、定性分析、半定量分析、元素分析等。

GB/T 35099-2018 微束分析 掃描電鏡-能譜法 大氣細粒子單顆粒形貌與元素分析
GB/T 17359-2012 微束分析 能譜法定量分析
GB/T 15244-2013 微束分析 硅酸鹽玻璃的定量分析 波譜法及能譜法
DB44/T 1215-2013 利用掃描電子顯微術和X射線能譜法表征單壁碳納米管的特性